Neuer Antrieb für Vakuumgebläse mit hermetisch dichtem Motor für den Hochvakuum-Bereich von 200 bis 10-5 mbar

Die dauerlauffesten AERZEN Vakuumgebläse (früher Spaltrohrgebläse genannt) mit hermetischem Antrieb ermöglichen besonders kurze Abpumpzeiten und werden in der industriellen Hochvakuumtechnik für einen Vakuumbereich von 200 bis 10^-5 mbar zusammen mit ein oder zwei Vorpumpen eingesetzt.

Diese Gebläse arbeiten mit einem vollhermetischen Antrieb. Die Antriebswelle wird durch einen integrierten Motor ohne Durchführung zur Atmosphäre abgedichtet. Durch die nahezu Verdoppelung der Drehzahlen bei kleineren Baugrößen, ergeben sich sehr kurze Abpumpzyklen im Vergleich zu Vakuumgebläsen mit 50 Hz Drehzahl, was zu einer deutlichen Beschleunigung der Produktionsabläufe beim Betreiber führt. Selbst wenn zur weiteren Steigerung der Leistung zwei Vorpumpen und ein Vakuumgebläse in einem Pumpstand integriert werden, zeichnet sich das Gesamtaggregat noch immer durch besonders kompakte Baumaße aus – ein besonderer Vorteil bei Mehrfachanlagen mit einer Vielzahl von Pumpständen.

Vakuumgebläse von AERZEN sind lieferbar in der Bauform HM für neutrale Gase in 9 Baugrößen für theoretische Nenn-ansaugvolumenströme von 406 bis 15.570 m³/h. Sie werden zur Erzeugung von industriellem Vakuum u. a. in der Chemie- und Verfahrenstechnik, der Folien- und Glasbeschichtung, bei der Evakuierung von Wasserstoff, in Helium-Lecksuchanlagen eingesetzt. Außerdem arbeiten diese Gebläse in der Halbleiterindustrie, der Mikroelektronik, bei der Herstellung von Flachbildschirmen, in der Lasertechnologie und in der Solartechnik. Die Gebläse können in vertikaler oder horizontaler Richtung fördern. Durch die serienmäßige Wasserkühlung sind sie für den Einsatz unter Reinraum-Bedingungen geeignet. Eine hohe mechanische Belastbarkeit (bis 150 mbar) reduziert die

Abpumpzeiten. Der Einsatz eines Frequenzumrichters ermöglicht zudem einen hohen Regelbereich (1:5) und dadurch ggfs. den Einsatz kleinerer Gebläsebaugrößen. Durch unterschiedliche Motorvarianten für Zyklus- und Dauerbetrieb können spezielle Einsatzfälle individuell gelöst werden.