Innovativer 5-Achs-Aligner für die Halbleiterindustrie

Das 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem des Dresdner Positionierspezialisten Steinmeyer Mechatronik besteht aus einem Tripod (MP200-3) und einem XY-Kreuztisch (KDT235) – beide mit Durchlichtöffnung – und vereint damit die Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme in einem Produkt. Es ist hochpräzise über den gesamten Verfahrweg, benötigt nur wenig Bauraum, ist einfach ansteuerbar und schafft dank seines robusten Aufbaus unter Industriebedingungen Millionen von Zyklen. Der 5-Achs-Alinger ist ein Paradebeispiel für die hohe Innovationskraft und Lösungskompetenz der Steinmeyer-Gruppe und hat sich in zahlreichen Alignment-Applikationen der Halbleiterindustrie erfolgreich als anwenderfreundliche, wirtschaftliche Lösung bewährt.

Höchste Präzision bei großen Verfahrwegen

Das Positioniersystem ist 235 mm lang, 235 mm breit sowie 170 mm hoch. Es realisiert Verfahrwege in XY von 100 mm, einen Hub von 4 mm sowie Kippungen in Phi und Delta von 4° und punktet mit einer absolut gleichbleibenden Wiederholgenauigkeit über alle Freiheitsgrade. Die drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen des Tripods sind mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen. Ein gehärteter und geschliffener Gleitgewindetrieb von Feinmess Suhl mit einem Spindeldurchmesser von 5 mm und einer Gewindesteigung von 0,5 mm ermöglicht feinste Zustellbewegungen. Die Gleitgewindetriebe von Feinmess Suhl sind Spezialisten für kleine, hochpräzise Stellbewegungen und eignen sich daher ideal zur Positionierung im kleinen Bauraum. Auch im Vakuum und Reinraum laufen sie mit Sonderschmierung über eine lange Zeit störungsfrei.

Kartesisches Grundgerüst

Für die XY-Bewegung sorgt der kompakt und robuste gebaute Durchlicht-Scantisch KDT235, auf dem der Tripod aufgesetzt ist. Hochpräzise Kugelgewindespindeln und eine justierbare Orthogonalität gewährleisten hochgenaue Positionier- und Ablaufgenauigkeiten. Die Präzisions-Kugelgewindetriebe der Firma August Steinmeyer sind mit einer Zylinder-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ausgestattet. Die perfekte geometrische Qualität und Oberflächengüte der spielfrei vorgespannten Gewindetriebe garantieren einen idealen Gleichlauf in der Anwendung und ermöglichen kleinste Stellinkremente.

Vielzahl an Optionen

Ob optische und aktive Ausrichtung, hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, 3D-Imaging, Interferometrie, Autofokus-Systeme oder Halbleitertests: Das 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem ist in der Halbleiterindustrie vielfältig einsetzbar und eignet sich auch für nicht rotationssymmetrische Teile. Von Vorteil sind außerdem die virtuellen Drehpunkte, die an einer beliebigen Stelle in die Werkstückoberfläche gesetzt werden können. Damit lässt sich der Drehpunkt in die optische Funktionsfläche legen und das Inspektionsobjekt aus verschiedenen Winkeln betrachten.

Eine Vielzahl an Optionen ermöglicht maximale Individualität. Als Zusatzausstattung stehen unter anderem Drehtische, Probenhalter, Motion Controller, Umhausungen sowie unterschiedliche Sicherheitskonzepte und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS) zur Verfügung. Auch Varianten für Reinraum, UV, DUV, nicht reflektierende Oberflächen, magnetische Umgebungen sowie Vakuum sind realisierbar.